หลักการของเอ็กซ์เรย์ดิฟแฟรกโตมิเตอร์
ความยาวคลื่นของรังสีเอกซ์ใกล้เคียงกับระยะห่างระหว่างระนาบอะตอมภายในคริสตัล และคริสตัลสามารถทำหน้าที่เป็นตะแกรงการเลี้ยวเบนเชิงพื้นที่สำหรับรังสีเอกซ์ได้ เมื่อลำแสงรังสีเอกซ์ถูกฉายรังสีบนวัตถุ อะตอมในวัตถุนั้นจะกระเจิง และแต่ละอะตอมจะสร้างคลื่นที่กระเจิง คลื่นเหล่านี้รบกวนซึ่งกันและกัน ส่งผลให้เกิดการเลี้ยวเบน การซ้อนทับกันของคลื่นการเลี้ยวเบนส่งผลให้ความเข้มของรังสีเพิ่มขึ้นในบางทิศทางและลดลงในทิศทางอื่น จากการวิเคราะห์ผลการเลี้ยวเบน ทำให้ได้โครงสร้างผลึก ข้อมูลข้างต้นเป็นการทำนายทางวิทยาศาสตร์ที่สำคัญที่เสนอโดยนักฟิสิกส์ชาวเยอรมัน M. วอน เลา ในปี 1912 ซึ่งได้รับการยืนยันทันทีจากการทดลอง ในปี 1913 นักฟิสิกส์ชาวอังกฤษ ว แบร็ก และ ว.ล แบร็ก จากการค้นพบของ เลา
สำหรับวัสดุคริสตัล เมื่อคริสตัลที่ทดสอบอยู่ในมุมที่แตกต่างจากลำแสงตกกระทบ ระนาบคริสตัลเหล่านั้นที่ตรงตามการเลี้ยวเบนของ แบร็ก จะถูกตรวจจับ ซึ่งสะท้อนให้เห็นในรูปแบบ เอ็กซ์อาร์ดี เป็นยอดของการเลี้ยวเบนที่มีความเข้มของการเลี้ยวเบนต่างกัน สำหรับวัสดุอสัณฐาน เนื่องจากไม่มีลำดับการจัดเรียงอะตอมในโครงสร้างผลึกในระยะยาว แต่มีลำดับระยะสั้นภายในช่วงอะตอมเพียงไม่กี่ช่วง สเปกตรัม เอ็กซ์อาร์ดี ของวัสดุอสัณฐานจึงมียอด หมั่นโถว ที่กระเจิงกระจายอยู่
เครื่องวัดการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ใช้หลักการเลี้ยวเบนเพื่อกำหนดโครงสร้างผลึก พื้นผิว และความเค้นของสารอย่างแม่นยำ และดำเนินการวิเคราะห์เฟส การวิเคราะห์เชิงคุณภาพ และการวิเคราะห์เชิงปริมาณได้อย่างแม่นยำ ใช้กันอย่างแพร่หลายในสาขาต่างๆ เช่นโลหะวิทยา ปิโตรเลียม วิศวกรรมเคมี การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การบินและอวกาศ การสอน การผลิตวัสดุ ฯลฯ
